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山東博華(hua)電子科(ke)技(ji)發展有限公(gong)司(si)成立于(yu)2017年，位于(yu)淄博高新區(qu)MEMS產業創新園內，是由淄博高新區(qu)管委會、MEMS研究院共同成立的(de)全資子公(gong)司(si)，公(gong)司(si)總投(tou)資約(yue)1.6億元，其(qi)中(zhong)已投(tou)入工(gong)藝設(she)備(bei)約(yue)1億元，廠(chang)房基(ji)礎建設(she)、土地約(yue)6000萬(wan)元。廠(chang)房面積(ji)5000m2，分環境動力區(qu)、辦公(gong)區(qu)、潔(jie)凈(jing)區(qu)。潔(jie)凈(jing)面積(ji)1540m2，百級(ji)區(qu)340m2、千(qian)級(ji)區(qu)400m2，萬(wan)級(ji)區(qu)800m2，超凈(jing)規模國內一流(liu)(liu)，省內。擁有德國SUSS公(gong)司(si)光刻機、奧德利EVG公(gong)司(si)鍵合機、英國SPTS公(gong)司(si)深硅刻蝕(shi)機等國際一流(liu)(liu)6英寸半自動MEMS及微納米(mi)代工(gong)線設(she)備(bei)，生產能力達到(dao)月(yue)產傳感器(qi)十(shi)萬(wan)只(zhi)以(yi)上，產品(pin)的(de)測試環境也(ye)居國內水平。

淄博(bo)高新技(ji)術(shu)產業開發區(qu)MEMS研(yan)究院(yuan)是由(you)淄博(bo)高新區(qu)管(guan)委(wei)會與清華(hua)大學機械工(gong)程學院(yuan)合作共建。公司于2017年12月成立，以“精密測試(shi)技(ji)術(shu)及儀器(qi)國家重(zhong)點(dian)(dian)實驗室MEMS分實驗室”、 “清華(hua)大學微(wei)米(mi)納米(mi)技(ji)術(shu)研(yan)究中心MEMS分中心”和“智能微(wei)系統教(jiao)育部重(zhong)點(dian)(dian)實驗室MEMS分實驗室”為技(ji)術(shu)依托，集中了國內專業從(cong)事MEMS工(gong)藝和傳感器(qi)設計的(de)專家人才，專門從(cong)事微(wei)型(xing)傳感器(qi)的(de)研(yan)發和生(sheng)產，是山東省一(yi)家采用MEMS技(ji)術(shu)批(pi)量生(sheng)產微(wei)型(xing)傳感器(qi)的(de)企業。

為(wei)了充分發揮山東博華電(dian)子科技發展有限(xian)公司(si)的作(zuo)用(yong)，聚集MEMS領域(yu)的研發機構和生產(chan)企(qi)業(ye)(ye)，管委會投資打造淄(zi)博高新(xin)區MEMS產(chan)業(ye)(ye)園。MEMS產(chan)業(ye)(ye)園位于中潤大道和聯通路之間，淄(zi)東鐵路以東，工業(ye)(ye)路以西；該項目用(yong)地面(mian)積9.93公頃，總建(jian)筑面(mian)積151306㎡，項目總投資54720萬元。園區重點引進國內外MEMS創業(ye)(ye)團隊、產(chan)品公司(si)、封裝測(ce)試公司(si)，致力打造涵蓋微機電(dian)系統器件(jian)設計、中試代工、封裝測(ce)試、規模(mo)量產(chan)的全產(chan)業(ye)(ye)鏈一流產(chan)業(ye)(ye)園區。