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山東博(bo)(bo)華電(dian)子科(ke)技(ji)發展有限(xian)公(gong)(gong)司(si)(si)成(cheng)立(li)于(yu)2017年，位于(yu)淄博(bo)(bo)高新區(qu)MEMS產業(ye)創新園內(nei)，是由(you)淄博(bo)(bo)高新區(qu)管(guan)委會、MEMS研究院共(gong)同成(cheng)立(li)的全資子公(gong)(gong)司(si)(si)，公(gong)(gong)司(si)(si)總投(tou)資約1.6億元，其中已投(tou)入(ru)工藝設備約1億元，廠房(fang)基(ji)礎(chu)建設、土地(di)約6000萬元。廠房(fang)面積(ji)5000m2，分環(huan)境動(dong)力(li)區(qu)、辦公(gong)(gong)區(qu)、潔凈區(qu)。潔凈面積(ji)1540m2，百級區(qu)340m2、千級區(qu)400m2，萬級區(qu)800m2，超(chao)凈規模國(guo)(guo)內(nei)一流，省內(nei)。擁有德國(guo)(guo)SUSS公(gong)(gong)司(si)(si)光刻(ke)機(ji)、奧德利EVG公(gong)(gong)司(si)(si)鍵合機(ji)、英國(guo)(guo)SPTS公(gong)(gong)司(si)(si)深硅刻(ke)蝕機(ji)等國(guo)(guo)際一流6英寸半自動(dong)MEMS及微納米代工線設備，生產能(neng)力(li)達到月產傳(chuan)感器十(shi)萬只以上，產品的測試環(huan)境也居國(guo)(guo)內(nei)水平。

淄(zi)博高新技(ji)(ji)術產(chan)業(ye)開發區MEMS研究院(yuan)是由淄(zi)博高新區管委(wei)會與清(qing)華(hua)大學機械工程學院(yuan)合作共(gong)建。公司于2017年12月成立，以(yi)“精密測試技(ji)(ji)術及(ji)儀(yi)器(qi)(qi)(qi)國(guo)家重點實驗室(shi)(shi)MEMS分實驗室(shi)(shi)”、 “清(qing)華(hua)大學微(wei)米納米技(ji)(ji)術研究中(zhong)心MEMS分中(zhong)心”和“智能微(wei)系統(tong)教(jiao)育部重點實驗室(shi)(shi)MEMS分實驗室(shi)(shi)”為技(ji)(ji)術依托，集中(zhong)了(le)國(guo)內(nei)專業(ye)從事(shi)MEMS工藝和傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)設計(ji)的專家人才，專門從事(shi)微(wei)型傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)的研發和生(sheng)產(chan)，是山東省一家采用MEMS技(ji)(ji)術批量生(sheng)產(chan)微(wei)型傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)的企業(ye)。

為(wei)了(le)充分發揮山東(dong)博(bo)(bo)華電子科(ke)技發展(zhan)有限(xian)公(gong)司的作用(yong)，聚集MEMS領域的研發機(ji)(ji)構和生(sheng)產(chan)(chan)企業(ye)，管委會(hui)投資(zi)打造淄博(bo)(bo)高新區(qu)MEMS產(chan)(chan)業(ye)園(yuan)。MEMS產(chan)(chan)業(ye)園(yuan)位于(yu)中潤(run)大道和聯通路(lu)(lu)之(zhi)間，淄東(dong)鐵路(lu)(lu)以(yi)東(dong)，工業(ye)路(lu)(lu)以(yi)西；該項目(mu)用(yong)地面積9.93公(gong)頃(qing)，總(zong)建筑面積151306㎡，項目(mu)總(zong)投資(zi)54720萬元。園(yuan)區(qu)重點(dian)引進國(guo)內外(wai)MEMS創業(ye)團(tuan)隊、產(chan)(chan)品公(gong)司、封(feng)(feng)裝測試公(gong)司，致力打造涵蓋微機(ji)(ji)電系統器件設計、中試代(dai)工、封(feng)(feng)裝測試、規模量產(chan)(chan)的全產(chan)(chan)業(ye)鏈一流產(chan)(chan)業(ye)園(yuan)區(qu)。